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申请/专利权人：西安电子科技大学
摘要：本发明公开了一种基于金刚石AlScN异质结的日盲紫外探测器，包括衬底层、缓冲层、异质结和接触电极，异质结由金刚石层和AlScN铁电材料层构造形成，本发明构造的异质结，超宽禁带的金刚石材料作为容纳二维电子气的沟道层，其另一侧的势垒层使用AlScN铁电材料，能够兼顾响应速度和可调控两个特点，一方面能够使探测器截止波长进一步减小，另一方面通过使用铁电性质更优秀的AlScN铁电材料，增强对异质结内置电场和耗尽区宽度的调控能力，促进光生载流子分离，从而提高探测器的性能。另外，由于AlScN铁电材料的禁带宽度要大于金刚石的禁带宽度，不会对紫外光波段之外的光发生响应，很好地弥补了光响应范围不精准的缺陷。
主权项：1.一种基于金刚石AlScN异质结的日盲紫外探测器，包括衬底层、缓冲层、异质结和接触电极，其特征在于，所述异质结由金刚石层和AlScN铁电材料层构造形成，所述接触电极分别设置在所述AlScN铁电材料层和所述金刚石层上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安电子科技大学 一种基于金刚石/AlScN异质结的日盲紫外探测器及其制备方法
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