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摘要：本发明属于定位测距领域，具体涉及一种基于磁编码器的半导体产品测距定位方法，通过在半导体制造平台上同时安装绝对型磁编码器和增量型磁编码器，由绝对型磁编码器提供绝对位置数据，为增量型磁编码器提供稳定的参考位置，避免了回零操作，同时能够将绝对型编码器与增量型编码器的定位数据进行一致性验证，有助于识别检测潜在的定位误差，从而针对性定位调整，大大降低了系统的误差风险和故障诊断难度，与此同时在利用绝对型磁编码器和增量型磁编码器进行测距定位前通过对绝对型磁编码器和增量型磁编码器进行安装检测，并基于安装检测结果进行安装调整，能够最小化因安装误差引起的测量不准确，从而提高系统的整体测量精度。
主权项：1.一种基于磁编码器的半导体产品测距定位方法，其特征在于，包括以下步骤：在半导体制造平台上安装第一磁编码器和第二磁编码器，其中第一磁编码器为绝对型编码器，第二磁编码器为增量型编码器；安装后进行编码器轴与驱动轴的安装检测，具体包括对中检测和安装稳定性检测；基于安装检测结果进行测距安装调整；测距安装调整后在利用第一磁编码器对半导体产品进行测距定位的同时采用设置在半导体制造平台上的环境采集终端进行环境信息采集，其中环境信息包括温度、湿度、振动位移和电磁干扰噪声频率；基于采集的环境信息进行第一磁编码器定位数据的存储处理；基于第一磁编码器定位数据的存储处理进行第二磁编码器对半导体产品的测距定位，得到第二磁编码器的定位数据；在每次测距定位后将第二磁编码器与第一磁编码器的定位数据进行定位一致性评判，并在评判存在定位偏差时确定主导定位数据；设置定位周期，进而调取定位周期内每次测距定位得到的第一磁编码器定位数据和第二磁编码器的定位数据进行定位变化曲线构建；将第一磁编码器的定位变化曲线与第二磁编码器的定位变化曲线进行重合对比，由此进行定位质量评价；依据定位质量评价结果进行定位调整。
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百度查询： 霍浦科技(宁波)有限公司 一种基于磁编码器的半导体产品测距定位方法
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