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摘要：本发明公开了一种具有桥状多栅极隧穿场效应晶体管的生物传感器及其制备方法，该生物传感器包括源区，源区的水平两侧轴对称设有两个T型沟道，T型沟道垂直部分的底部依次覆盖有漏区和漏极；所述源区、源区两侧的T型沟道以及漏区形成H型桥状双PIN结构；源区的垂直两侧均覆盖有源极，每个源极的水平两侧均设置有位于T型沟道上的L型的生物分子探测腔，每个生物分子探测腔垂直部分的顶部覆盖有栅极氧化层，每个生物分子探测腔水平部分的顶部覆盖有栅极，栅极氧化层和栅极与沟道垂直部分的边缘水平对齐；本发明解决了低电压下器件导通电流不足、亚阈值摆幅较大以及场效应晶体管检测生物分子时灵敏度低的技术问题，具有较高的灵敏度。
主权项：1.一种具有桥状多栅极隧穿场效应晶体管的生物传感器，其特征在于，包括源区1，源区1的水平两侧轴对称设置有两个T型沟道4，T型沟道4垂直部分的底部依次覆盖有漏区5和漏极8；所述源区1、源区1两侧的T型沟道4以及漏区5形成H型桥状双PIN结构；源区1的垂直两侧均覆盖有源极6，每个源极6的水平两侧均设置有位于T型沟道4上的L型的生物分子探测腔2，每个生物分子探测腔2垂直部分的顶部覆盖有栅极氧化层3，每个生物分子探测腔2水平部分的顶部覆盖有栅极7，栅极氧化层3和栅极7与沟道4垂直部分的边缘水平对齐。
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百度查询： 西安电子科技大学 西安电子科技大学杭州研究院 一种具有桥状多栅极隧穿场效应晶体管的生物传感器及其制备方法
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