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摘要：本发明公开了一种将OLED和光晶体管集成装置和电子束刻蚀方法，包括OLED和光晶体管是串联关系，二者采用电子束刻蚀工艺通过绝缘电子束光刻胶连接，制作在基片上。光晶体管包括栅极、栅极绝缘层、源极、导电沟道、漏极；OLED包括半透明阳极、空穴传输层、发光层兼电子传输层、反射阴极、基片。本发明使有机电子器件实现多功能的集成化，同时具有发光显示和感光的功能，实现通过外界红外光的强弱控制OLED的发光强弱。
主权项：1.一种将OLED和光晶体管集成装置，其特征在于，包括OLED和光晶体管，所述OLED包括基片1、位于所述基片1上方的反射阴极2、位于所述反射阴极2上方的发光层兼电子传输层3、位于所述发光层兼电子传输层3上方的空穴传输层4、位于所述空穴传输层4上方的半透明阳极5、位于所述半透明阳极5上方的电子束光刻胶6；所述光晶体管包括位于所述半透明阳极5一侧上方的漏极7、位于所述电子束光刻胶6一侧的源极9、位于所述电子束光刻胶6上方的导电沟道8、位于所述导电沟道8上方的栅极绝缘层10、位于所述栅极绝缘层10上方的栅极11；所述导电沟道8位于所述源极9和漏极7之间，所述源极9位于远离漏极一侧的电子束光刻胶6上。
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百度查询： 江苏科技大学 一种将OLED和光晶体管集成装置和电子束刻蚀方法
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