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申请/专利权人:西安奕斯伟材料科技股份有限公司
摘要:本申请提供了硅片表面缺陷的识别方法及系统,所述方法包括:获取硅片表面的缺陷图像;提取所述缺陷图像相应的缺陷特征信息;对所述缺陷特征信息进行形状分类处理,以得到所述缺陷图像相应的缺陷类型及其置信度;根据所述缺陷类型的置信度与目标阈值的数值大小关系,对所述硅片进行处置。本申请通过结合图像处理与深度学习技术,实现了高效、准确的缺陷识别和分类,并能够根据缺陷识别结果对硅片进行处置。自动化的缺陷识别方法相比人工检查大大提高了检测速度和检测效率,减少了人为因素的影响,提升了检测结果的稳定性和一致性,减少人为主观影响,降低误检和漏检风险。
主权项:1.一种硅片表面缺陷的识别方法,其特征在于,所述方法包括:获取硅片表面的缺陷图像;提取所述缺陷图像相应的缺陷特征信息;对所述缺陷特征信息进行形状分类处理,以得到所述缺陷图像相应的缺陷类型及其置信度;根据所述缺陷类型的置信度与目标阈值的数值大小关系,对所述硅片进行处置。
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权利要求:
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