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一种芯片外观缺陷检测设备 

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申请/专利权人:江苏海纳电子科技有限公司

摘要:本发明涉及一种芯片外观缺陷检测设备,包括带有2D检测区及3D检测区的外观缺陷检测设备本体,所述2D检测区及3D检测区内均设置有能够前后位移的位移架,所述位移架上设置有能够升降位移的气动控制组件,所述气动控制组件转动密封连接有底部开设有半球形孔的旋转桶,所述旋转桶内部设置有气动伸缩组件,所述气动伸缩组件下方设置有位于半球形孔的倾角调节组件,所述倾角调节组件下侧面密封夹持有接触环,所述旋转桶下侧面设置有用于带动倾斜调节组件调节倾角的驱动组件;本发明具有吸嘴调节便于调节且易于更换吸嘴的优点。

主权项:1.一种芯片外观缺陷检测设备,包括带有2D检测区及3D检测区的外观缺陷检测设备本体,其特征在于:所述2D检测区及3D检测区内均设置有能够前后位移的位移架,所述位移架上设置有能够升降位移的气动控制组件,所述气动控制组件转动密封连接有底部开设有半球形孔的旋转桶,所述旋转桶内部设置有气动伸缩组件,所述气动伸缩组件下方设置有位于半球形孔的倾角调节组件,所述倾角调节组件下侧面密封夹持有接触环,所述旋转桶下侧面设置有用于带动倾斜调节组件调节倾角的驱动组件;所述旋转桶开设有分别与倾角调节组件及气动控制组件连通的通气孔,所述通气孔通过倾角调节组件连通接触环,所述气动伸缩组件可下移连接倾角调节组件并带动倾角调节组件下移,以使得倾角调节组件不再夹持接触环,当所述气动伸缩组件带动倾角调节组件上移复位后,所述倾角调节组件夹持接触环,所述气动伸缩组件脱离倾角调节组件并继续上移。

全文数据:

权利要求:

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