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申请/专利权人：浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
摘要：本发明公开了外延片性能测试装置及测试方法，涉及到外延片测试技术领域，包括固定架与待检样片，还包括支撑平台、支撑组件、定位组件与检测组件，检测组件置于待检样片的上方。本发明还公开了外延片性能测试装置的测试方法，包括以下步骤：定位，第一次检测，移位，第二次检测，下料。本发明通过设置支撑组件，支撑组件与定位组件配合，可以调整待检样片的位置，达到能够多次检测时能够准确的定位待检样片，同时能够减少待检样片移动时产生的损坏，通过设置的检测组件对待检样片进行检测，同时在检测前对探针接触位置进行清理，在检测完成后也可以辅助将待检样片取下。
主权项：1.外延片性能测试装置，包括固定架（1）与待检样片（2），其特征在于：还包括支撑平台（3），其置于固定架（1）内，且与固定架（1）固定连接；支撑组件（4），其置于支撑平台（3）内侧，所述待检样片（2）置于支撑组件（4）的上端，用于对所述待检样片（2）进行定位；定位组件（5），其置于支撑组件（4）内侧，用于固定待检样片（2）；检测组件（6），其置于固定架（1）的中部，且与支撑组件（4）同轴线，检测组件（6）置于待检样片（2）的上方；检测组件（6）包括导向板（60），导向板（60）的两侧对称开设有引导滑槽（61），其相对所述待检样片（2）上下滑动；滑动凸台（62），其分别置于对应的引导滑槽（61）内，且能够左右滑动；探针（63），其分别固定连接在滑动凸台（62）的下端；驱动部（64），其置于导向板（60）的上端，且输出端与导向板（60）固定连接，用于调整导向板（60）的高度；定位部（65），其置于导向板（60）的中部，且与导向板（60）固定连接，所述定位部（65）与支撑组件（4）同轴线。
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权利要求：
百度查询： 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司 外延片性能测试装置及测试方法
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