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摘要：一种集成式气相沉积炉，包括炉体，在所述的炉体上设置有顶盖，所述的顶盖和炉体之间依靠螺栓进行固定，在所述的顶盖上设置有进气端口，在所述的进气端口上设置有进气管，在所述的炉体内部设置有沉积平台，在炉体上设置有侧边台，所述的沉积平台依靠侧边台搁置在炉体内部，在所述的沉积平台上设置有多个沉积槽，可以利用沉积平台进行零部件的放置，这样能够很好的便于后续零部件的沉积处理，在沉积炉的底部设置有沉积料渣回收舱，能够满足了废料渣的回收，而且在回收的时候，不需要整体拆除沉积炉，能够降低后续沉积炉的回收和维护的成本，使得料渣处理的效率也进一步提升。
主权项：1.一种集成式气相沉积炉，包括炉体，在所述的炉体上设置有顶盖，所述的顶盖和炉体之间依靠螺栓进行固定，在所述的顶盖上设置有进气端口，在所述的进气端口上设置有进气管，在所述的炉体内部设置有沉积平台，在炉体上设置有侧边台，所述的沉积平台依靠侧边台搁置在炉体内部，在所述的沉积平台上设置有多个沉积槽，其特征在于：所述的炉体的底部设置有沉积料渣回收舱，所述的沉积料渣回收舱底部设置有滑轮，在所述的炉体底部设置有盖合门，所述的盖合门和炉体之间依靠活动螺栓固定。
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百度查询： 扬州市硕成伟业电热设备有限公司 一种集成式气相沉积炉
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