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摘要：本申请公开了一种晶体生长炉，其包括主炉室、炉盖、副炉室、提拉组件，主炉室围绕形成有反应室，炉盖设于反应室的上方，副炉室通过炉盖与主炉室连接，提拉组件设于副炉室的上方，用于提拉晶棒，炉盖上设有观察视窗，观察视窗具有沿预设方向贯穿炉盖的观察孔，观察孔用于观察反应室内的晶棒反应状况的，观察视窗上装设有沿预设方向分布的第一保护层和观察层，第一保护层位于观察层靠近反应室的一侧，观察层固定装设于观察视窗中，第一保护层可拆地的设于观察视窗中。通过上述设置，避免了观察层的石英玻璃被氧化物污染，通过可拆卸的第一保护层提升了炉盖维护的便捷性。
主权项：1.一种晶体生长炉，包括：主炉室，所述主炉室围绕形成有反应室；炉盖，所述炉盖设于所述反应室的上方；副炉室，所述副炉室通过所述炉盖与所述主炉室连接；提拉组件，所述提拉组件设于所述副炉室的上方，用于提拉晶棒；其特征在于，所述炉盖上设有观察视窗，所述观察视窗具有沿预设方向贯穿所述炉盖的观察孔，所述观察孔用于观察所述反应室内的晶棒反应状况的，所述观察视窗上装设有沿所述预设方向分布的第一保护层和观察层，所述第一保护层位于所述观察层靠近所述反应室的一侧，所述观察层固定装设于所述观察视窗中，所述第一保护层可拆地的设于所述观察视窗中。
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百度查询： 浙江晶盛机电股份有限公司 晶体生长炉
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