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摘要：本申请公开了一种晶体生长炉，该晶体生长炉包括机架、提拉组件、副炉室、主炉室、坩埚和旋转升降组件。提拉组件设置于机架上；副炉室位于提拉组件的下侧；主炉室位于副炉室的下侧；坩埚位于主炉室内；旋转升降组件驱动坩埚的旋转和升降；旋转升降组件包括第一移动轴、第二移动轴、驱动机构和碟刹机构，第二移动轴与第一移动轴连接，第二移动轴支撑坩埚；驱动机构传动连接至第一移动轴，驱动第一移动轴旋转和升降；碟刹机构包括固定连接至第一移动轴上的盘状结构以及设置于机架上的锁止结构，锁止结构具有夹持盘状结构的锁止状态以及与盘状结构分离的解锁状态。通过上述设置，可以有利于第一移动轴和第二移动轴的拆卸或安装。
主权项：1.一种晶体生长炉，包括：机架；提拉组件，至少部分设置于所述机架上；副炉室，由所述机架支撑并至少部分位于所述提拉组件的下侧；主炉室，由所述机架支撑并至少部分位于所述副炉室的下侧；坩埚，位于所述主炉室内；旋转升降组件，支撑所述坩埚并驱动所述坩埚的旋转和升降；其特征在于，所述旋转升降组件包括：第一移动轴；第二移动轴，位于所述第一移动轴的上侧并与所述第一移动轴连接，所述第二移动轴支撑所述坩埚；驱动机构，传动连接至所述第一移动轴，驱动所述第一移动轴旋转和升降；碟刹机构，包括固定连接至所述第一移动轴上的盘状结构以及设置于所述机架上的锁止结构，所述锁止结构具有夹持所述盘状结构的锁止状态以及与所述盘状结构分离的解锁状态。
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权利要求：
百度查询： 浙江晶盛机电股份有限公司 晶体生长炉
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