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摘要：本实用新型公开了一种微波等离子化学气相沉积生长温度检测支架，解决了现有技术中不便于对谐振腔温度进行测量的问题，本实用新型包括设于谐振腔外的底座，铰接于底座上的第一连接杆，铰接于第一连接杆上的第二连接杆，铰接于第二连接杆上的第三连接杆，设于第三连接杆上的调节机构，设于调节机构上的夹紧组件，以及设于夹紧组件上用于检测谐振腔内工作温度的温度传感器。本实用新型调节机构能够夹紧组件上固定在第三连接杆上，使得夹紧组件的温度传感器的检测端能够与谐振腔之间的距离保持在恒定值，同时温度传感器也能够对谐振腔的工作温度进行实时检测，避免谐振腔的温度过高或过低，影响金刚石的生长。
主权项：1.一种微波等离子化学气相沉积生长温度检测支架，其特征在于，包括设于谐振腔外的底座1，铰接于底座1上的第一连接杆2，铰接于第一连接杆2上的第二连接杆3，铰接于第二连接杆3上的第三连接杆4，设于第三连接杆4上的调节机构6，设于调节机构6上的夹紧组件7，以及设于夹紧组件7上用于检测谐振腔内工作温度的温度传感器8。
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