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摘要：本申请公开了一种晶体生长炉，该晶体生长炉包括机架、提拉组件、副炉室、主炉室和旋板阀组件。提拉组件至少部分设置于机架上；副炉室由机架支撑并至少部分位于提拉组件的下侧；主炉室由机架支撑并至少部分位于副炉室的下侧；旋板阀组件位于主炉室和副炉室之间，用于连接主炉室和副炉室；旋板阀组件包括壳体、盖体和阀体。壳体分别连接主炉室和副炉室，壳体的一侧开设有开口；盖体用于开启或封闭开口；阀体用于连通或封闭主炉室和副炉室，阀体具有移动自由度，以穿过开口后位于壳体外。通过上述设置，可以提高阀体的清理便捷性。
主权项：1.一种晶体生长炉，包括：机架；提拉组件，至少部分设置于所述机架上；副炉室，由所述机架支撑并至少部分位于所述提拉组件的下侧；主炉室，由所述机架支撑并至少部分位于所述副炉室的下侧；旋板阀组件，位于所述主炉室和所述副炉室之间，用于连接所述主炉室和所述副炉室；其特征在于，所述旋板阀组件包括：壳体，分别连接所述主炉室和所述副炉室，所述壳体的一侧开设有开口；盖体，用于开启或封闭所述开口；阀体，所述阀体用于连通或封闭所述主炉室和所述副炉室，所述阀体具有移动自由度，以穿过所述开口后位于所述壳体外。
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百度查询： 浙江晶盛机电股份有限公司 晶体生长炉
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