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摘要：描述了选择性沉积方法。示例性方法包括：将包括第一表面和第二表面的基板暴露于锚定反应物；和将锚定反应物选择性地沉积在第一表面上作为种晶层，其中所述锚定反应物包括具有选择性地靶向所述第一表面的头基的乙炔基衍生物。
主权项：1.一种在基板上选择性地沉积钝化膜的方法，所述方法包括：将包括第一表面和第二表面的所述基板暴露于锚定反应物，其中所述第一表面包括金属表面且所述第二表面包括介电表面，或者所述第一表面包括所述介电表面且所述第二表面包括所述金属表面；将所述锚定反应物选择性地沉积在所述第一表面上作为种晶层，其中所述锚定反应物包括具有选择性地靶向所述第一表面的头基的乙炔基衍生物；及将所述种晶层暴露于第一单体以形成所述钝化膜，其中所述第一单体包括四嗪衍生物。
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百度查询： 应用材料公司 新加坡国立大学 钝化膜的选择性沉积
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