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具有环状电极结构的半导体器件及其制作方法 

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摘要:本发明实施例公开了一种具有环状电极结构的半导体器件及其制作方法,应用于电子器件技术领域。半导体器件主要是在外延结构的有源区外围设置隔离区,并在有源区用栅极将源极包围起来,相邻电极组的源极为不同电位的电极,最上端和最下端的电极组中的源极也为不同电位的电极,而在隔离区设置有至少一圈金属环结构和至少一个离子注入区域,这样通过金属环结构及离子注入区域可以将有源区内的源极得到有效地可靠性提升,从而实现了半导体器件的高可靠性。

主权项:1.一种具有环状电极结构的半导体器件,其特征在于,包括:外延结构,所述外延结构设置于衬底上,所述外延结构包括有源区和有源区外围的隔离区,其中:所述有源区包括所述半导体器件的多组电极,每组电极包括源极,和包围所述源极的栅极,相邻电极组所包括的源极为不同电位的电极,且所述有源区内最上端的电极组包括第一源极,最下端的电极组包括第二源极,所述第一源极和第二源极为不同电位的电极;所述隔离区将所述有源区内的电极包围,包括至少一圈离子注入区域和至少一圈金属环结构,所述金属环结构与所述离子注入区域间隔地设置于所述隔离区,且距离所述有源区的电极最近的是一圈离子注入区域。

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