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申请/专利权人:京东方华灿光电(苏州)有限公司
摘要:本公开提供了一种发光二极管及其制备方法。发光二极管包括:衬底、缓冲层、三维成核层、未掺杂半导体层、第一半导体层、发光层、电子阻挡层和第二半导体层。三维成核层包括晶格结构处理子层、第一三维成核子层和第二三维成核子层;其中,晶格结构处理子层为在纯H2气氛下生长而成的GaN子层;第一三维成核子层为在纯N2气氛下而成的GaN子层;第二三维成核子层在第一三维成核子层生长完成后停顿一段时间后生长而成;第二三维成核子层为在纯H2气氛下生长而成的GaN子层。三维成核层可以有效减少晶格失配导致的缺陷和位错,减小漏电流,提高复合几率,增大出光效率。
主权项:1.一种发光二极管,其特征在于,所述发光二极管包括:衬底101、缓冲层102、三维成核层103、未掺杂半导体层104、第一半导体层105、发光层106、电子阻挡层107和第二半导体层108;所述缓冲层102、所述三维成核层103、所述未掺杂半导体层104、所述第一半导体层105、所述发光层106、所述电子阻挡层107和所述第二半导体层108依次生长层叠在所述衬底101上;所述三维成核层103包括:依次层叠在所述缓冲层102上的至少一个周期的晶格结构处理子层201、第一三维成核子层202和第二三维成核子层203;所述晶格结构处理子层201、所述第一三维成核子层202和所述第二三维成核子层203均为GaN子层。
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