龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：三星电子株式会社
摘要：在用于半导体器件中的版图图案的分割方法中，将设计版图划分为多个区块。基于目标版图图案和相邻版图图案的顶点，设置用于目标区块中的目标版图图案和相邻区块中的相邻版图图案的多个第一分割点。设置用于至少一个例外版图图案的至少一个第二分割点。所述至少一个例外版图图案是其中未设置第一分割点并且延伸穿过一个区块的边界的版图图案。基于第一分割点和第二分割点设置用于目标版图图案和相邻版图图案的多个第三分割点。基于第一分割点、第二分割点和第三分割点将目标版图图案划分为多个目标区段。
主权项：1.一种用于半导体器件中的版图图案的分割方法，所述分割方法包括：将要执行光学邻近修正过程的目标层的设计版图划分为多个区块；从所述多个区块中选择第一组区块，所述第一组区块包括目标区块以及邻接所述目标区块的多个邻接区块；基于所述目标区块中的目标版图图案的顶点和所述多个邻接区块中的相邻版图图案的顶点，设置用于所述目标版图图案和所述相邻版图图案的多个第一分割点；设置用于所述目标版图图案和所述相邻版图图案中的至少一个例外版图图案的至少一个第二分割点，所述至少一个例外版图图案是其中所述第一组区块中的区块中未设置第一分割点并延伸穿过一个区块的边界的版图图案；基于所述多个第一分割点和所述至少一个第二分割点，设置用于所述目标版图图案和所述相邻版图图案的多个第三分割点；以及基于所述多个第一分割点、所述至少一个第二分割点和所述多个第三分割点，将所述目标版图图案划分为多个目标区段，其中，设置用于所述至少一个例外版图图案的所述至少一个第二分割点包括：识别第一例外版图图案，所述第一例外版图图案：是连续的，没有设置第一分割点，并且穿过第一区块的两个相对边界，以及将所述第一例外版图图案的第二分割点设置在所述第一区块的所述两个相对边界之间的中点处，使得所述第二分割点位于所述两个相对边界之间的中心处。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三星电子株式会社 版图图案的分割方法、光学邻近修正方法和半导体器件制造方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号