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申请/专利权人：瑞声声学科技(深圳)有限公司
摘要：本发明提供了一种MEMS器件的ESD保护系统，其包括控制电路、电性连接所述控制电路的MEMS器件以及电性连接控制电路且与MEMS器件并联的ESD保护装置，ESD保护装置包括电性连接控制电路的上电极组件、具有悬臂弹性的悬臂以及下电极组件，悬臂包括电性连接所述控制电路的第一电极层、电性连接MEMS器件的第二电极层以及电性连接第二电极层的可动金属触点，下电极组件包括电性连接MEMS器件的下电极层、电性连接下电极层且与可动金属触点相对的固定金属触点。本发明MEMS器件的ESD保护系统的ESD保护装置能够比MEMS器件提前对ESD事件反应且耗散静电放电电压，从而有效的保护MEMS器件。
主权项：1.一种MEMS器件的ESD保护系统，其包括控制电路、电性连接所述控制电路的MEMS器件以及电性连接所述控制电路且与所述MEMS器件并联的ESD保护装置，其特征在于：所述ESD保护装置包括电性连接所述控制电路的上电极组件、具有悬臂弹性的悬臂以及下电极组件，所述悬臂包括电性连接所述控制电路的第一电极层、电性连接所述MEMS器件的第二电极层以及电性连接所述第二电极层的可动金属触点；所述下电极组件包括电性连接所述MEMS器件的下电极层、电性连接所述下电极层且与所述可动金属触点相对设置的固定金属触点。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 瑞声声学科技(深圳)有限公司 MEMS器件的ESD保护系统
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