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申请/专利权人：瑞声开泰科技(武汉)有限公司
摘要：本公开实施例提供一种全解耦三轴MEMS陀螺仪及电子产品，陀螺仪包括：基底、固定于基底的XY检测质量块、Z检测质量块、驱动结构和Z解耦质量块，XY检测质量块环设于Z检测质量块、驱动结构和Z解耦质量块的外侧；Z检测质量块沿x轴方向相对设置；驱动结构沿x轴方向相对设置于Z检测质量块的外侧；Z解耦质量块沿x轴方向相对设置于Z检测质量块的内侧。XY检测质量块与其相邻的驱动结构弹性连接，Z检测质量块与其相邻的驱动结构弹性连接，Z解耦质量块与其相邻的Z检测质量块弹性连接。该陀螺仪提高XY检测质量块的哥氏转化率，最大化利用芯片面积，降低芯片尺寸和成本，降低耦合误差和正交误差，提高检测精度。
主权项：1.一种全解耦三轴MEMS陀螺仪，其特征在于，包括：基底、分别固定于所述基底的XY检测质量块、多个Z检测质量块、多个驱动结构和多个Z解耦质量块，其中，所述XY检测质量块环设于所述多个Z检测质量块、所述多个驱动结构和所述多个Z解耦质量块的外侧；所述多个Z检测质量块，沿x轴方向相对设置；所述多个驱动结构，沿x轴方向相对设置于所述多个Z检测质量块的外侧；所述多个Z解耦质量块，沿x轴方向相对设置于所述多个Z检测质量块的内侧；其中，所述XY检测质量块与其相邻的所述驱动结构弹性连接，每个所述Z检测质量块与其相邻的所述驱动结构弹性连接，所述Z解耦质量块与其相邻的所述Z检测质量块弹性连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 全解耦三轴MEMS陀螺仪及电子产品
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