龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：深圳瑞纳电子技术发展有限公司
摘要：本发明提供了一种MEMS水平度传感器及其制造方法，以卡氏垂直坐标系为参照，包括；半导体基板，其表面与x‑y坐标在同一平面；位于所述半导体基板上的以z轴方向为对称轴的圆环空腔；位于所述圆环空腔内壁第一侧的多个相互分离的第一电极片；位于所述圆环空腔内壁第二侧的多个第二电极片，所述第二侧与第一侧相对，所述第二电极片和所述第一电极片一一对应；构置于所述圆环空腔内的惯性体，所述惯性体为导体，其可在所述圆环空腔内绕圆环空腔的对称轴转动，使得与所述惯性体接触的第一电极片和第二电极片导通。本发明实现了感测器件的微型化，大幅降低了制造成本，并且具有更高的抗冲击能力。
主权项：1.一种MEMS水平度传感器，其特征在于，以卡氏垂直坐标系为参照，包括；半导体基板，其表面与x-y坐标在同一平面；位于所述半导体基板上的以z轴方向为对称轴的圆环空腔；位于所述圆环空腔内壁第一侧的多个相互分离的第一电极片；位于所述圆环空腔内壁第二侧的多个第二电极片，所述第二侧与第一侧相对，所述第二电极片和所述第一电极片一一对应；构置于所述圆环空腔内的惯性体，所述惯性体为导体，其可在所述圆环空腔内绕圆环空腔的对称轴转动，使得与所述惯性体接触的第一电极片和第二电极片导通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳瑞纳电子技术发展有限公司 MEMS水平度传感器及其制造方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号