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申请/专利权人：华东光电集成器件研究所
摘要：本发明公开了一种大尺寸电热式MEMS振镜及其应用，涉及MEMS振镜技术领域，旨在解决现有技术中实现大尺寸MEMS振镜致动需要高压驱动，或MEMS模块整体体积较大等问题，其包括衬底，所述衬底上设有制动区，所述制动区的一侧延伸至外部与框架连接，所述框架用于装配光学元件，所述制动区两端设有金属引线点，所述金属引线点通过金属引线与外部电源连接。本发明尺寸大小达到厘米量级，体积更小，满足振镜透射区尺寸大于图像传感器的同时更有利于系统的一体化集成化。
主权项：1.一种大尺寸电热式MEMS振镜，其特征在于，包括衬底，所述衬底上设有制动区，所述制动区的一侧延伸至外部与框架连接，所述框架用于装配光学元件，所述制动区两端设有金属引线点，所述金属引线点通过金属引线与外部电源连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华东光电集成器件研究所 一种大尺寸电热式MEMS振镜及其应用
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