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申请/专利权人：中山大学·深圳;中山大学
摘要：本发明属于陶瓷刻蚀技术领域，公开了一种刻蚀剂及稀土钽酸盐陶瓷的晶界刻蚀方法。该一种刻蚀剂，包含氧化物熔盐和助蚀剂，氧化物熔盐的成分为aCaO‑bMgO‑cAlO1.5‑dSiO2，其中a＝20～40，b＝5～20，c＝5～25，d＝30～60，且a+b+c+d＝100；助蚀剂包含Yb2Si2O7。本发明以氧化物熔盐与助蚀剂作为刻蚀剂，在高温下对稀土钽酸盐陶瓷块体进行刻蚀，助蚀剂存在于晶界中，优先与氧化物熔盐反应，能够对稀土钽酸盐陶瓷进行晶界刻蚀，刻蚀后能够观察到清晰的晶界，有利于研究陶瓷的晶粒形貌、尺寸等微观组织结构。该晶界刻蚀方法，不涉及危险化学品，适用性强。
主权项：1.一种稀土钽酸盐陶瓷的晶界刻蚀方法，采用刻蚀剂进行处理，其特征在于，包括以下步骤：1将稀土钽酸盐粉体浸泡于助蚀剂中，离心，除去上层液得到润湿的稀土钽酸盐粉体；2将步骤1得到的润湿的稀土钽酸盐粉体干燥，冷压成型；然后进行第一次冷等静压，得到预制坯体；3将步骤2制备的预制坯体干燥；然后进行第二次冷等静压，得到坯体；4将步骤3制备的坯体烧结，得到稀土钽酸盐陶瓷块体；将氧化物熔盐与无水乙醇混合后，涂覆于所述稀土钽酸盐陶瓷块体上，然后进行晶界刻蚀；所述刻蚀剂，包含氧化物熔盐和助蚀剂，所述氧化物熔盐的成分为aCaO-bMgO-cAlO1.5-dSiO2，其中a＝25～40，b＝5～15，c＝10～25，d＝35～55，且a+b+c+d＝100；所述助蚀剂包含Yb2Si2O7。
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权利要求：
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