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申请/专利权人：黄剑鸣

摘要：本实用新型公开一种双激光晶化装置，用于对非晶硅薄膜进行扫描式激光加热而转化成晶硅薄膜，其包括基座、X轴移动机构、龙门架、Y轴移动机构、Z轴移动机构、防尘壳、激光晶化装置及激光加热装置；X轴移动机构用于驱动非晶硅薄膜沿X轴方向移动完成晶化处理成晶体硅薄膜。龙门架用于承载激光晶化装置及激光加热装置并提供沿Y轴方向的导向；Y轴移动机构用于驱动激光晶化装置及激光加热装置沿Y轴方向移动；Z轴移动机构用于驱动激光晶化装置及激光加热装置沿Z轴方向移动实现聚焦于非晶硅薄膜表面对非晶硅进行加热晶化成晶体硅。本实用新型对成低、工艺简单的非晶硅薄膜进行扫描式加热晶化处理，以使得最终大比例的形成晶硅薄膜，成本低和工艺简单。

主权项：1.一种双激光晶化装置，用于对非晶硅薄膜进行扫描式激光加热而转化成晶硅薄膜，其特征在于，包括：基座；X轴移动机构，所述X轴移动机构包括用于呈水平承载非晶硅薄膜的承载平台及用于驱动所述承载平台沿X轴做直线往复运动的X轴驱动件，所述X轴驱动件设置于所述基座上，所述承载平台沿X轴方向呈滑动的设置于所述基座上；龙门架，所述龙门架设置于所述基座上，所述龙门架具有沿Y轴方向设置的桁架，所述桁架横跨所述承载平台；Y轴移动机构，所述Y轴移动机构包括设置于所述桁架上的Y轴驱动件及沿Y轴方向呈滑动的设置于所述桁架上的悬臂件，所述Y轴驱动件与所述悬臂件传动连接并可驱动所述悬臂件沿Y轴方向做直线往复运动；Z轴移动机构，所述Z轴移动机构包括Z轴滑块及Z轴驱动件，所述Z轴滑块沿Z轴方向呈滑动的设置于所述悬臂件上，所述Z轴驱动件与所述Z轴滑块传动连接并可驱动所述Z轴滑块沿Z轴方向做直线往复运动；防尘壳，所述防尘壳凸设于所述Z轴滑块上；用于对非晶硅薄膜进行加热晶化的激光晶化装置，所述激光晶化装置内置于所述防尘壳内，所述激光晶化装置包括第一波形输出器、第一激光发射器、第一反射镜及第一凸透镜，所述第一波形输出器与所述第一激光发射器电性连接用于控制第一激光发射器输出脉冲式的高功率激光，高功率激光用于将非晶硅薄膜表面进行快速加热至晶化温度，高功率激光的功率为Wmax，周期为T，持续时间t1；所述激光晶化装置的第一出光口正对所述承载平台；所述第一激光发射器所发出的高功率激光经所述第一反射镜的反射垂直入射至第一凸透镜，入射至第一凸透镜的高功率激光聚焦至承载平台上的非晶硅薄膜表面；用于对加热晶化后的晶硅薄膜进行加热的激光加热装置，所述激光加热装置内置于所述防尘壳内，所述激光加热装置包括第二波形输出器、第二激光发射器、第二反射镜及第二凸透镜，所述第二波形输出器与所述第二激光发射器电性连接用于控制第二激光发射器输出脉冲式的低功率激光，低功率激光用于对晶化后的晶硅薄膜进行加热，低功率激光的功率为Wmin，周期为T，持续时间t2；所述激光加热晶化装置的第二出光口正对所述承载平台；所述第二激光发射器所发出的低功率激光经所述第二反射镜的反射垂直入射至第二凸透镜，入射至第二凸透镜的低功率激光聚焦至承载平台上的被晶化的晶硅薄膜表面；其中，T＝t1+t2，所述第一出光口与所述第二出光口沿X轴方向呈前后设置，高功率激光于第一凸透镜聚焦下的第一光斑与低功率激光于第二凸透镜聚焦下的第二光斑相切。

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