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申请/专利权人：信越化学工业株式会社
摘要：本发明涉及单体、抗蚀剂材料、抗蚀剂组成物、及图案形成方法。本发明的课题是提供优于已知的正型抗蚀剂材料的高感度、高分辨度，且边缘粗糙度、尺寸变异小，且曝光后的图案形状良好的抗蚀剂材料，以及为前述抗蚀剂材料的原料的单体、含有前述抗蚀剂材料的抗蚀剂组成物、及图案形成方法。该课题的解决手段是一种单体，其特征为：以下述通式a‑1M或a‑2M表示。
主权项：1.一种单体，其特征为：以下述通式a-1M或a-2M表示； 式中，RA为氢原子或甲基；X1为单键、亚苯基、亚萘基、或含有酯键或醚键的碳数1～12的连接基团；X2为单键、或碳数1～12的直链状、分支状、或环状的亚烷基，且也可含有选自酯基、醚基、酰胺基、内酯环、磺内酯环、及卤素原子中的1种以上；X3为碳数1～10的直链状、或分支状的亚烷基，且也可具有选自醚基、酯基、芳香族基团、双键、及三键中的1种以上，并具有1～4个氟原子；R1分别独立地为羟基、碳数1～4的直链状、或分支状的烷基、烷氧基、酰氧基、或碘以外的卤素原子；m为1～4的整数，n为0～3的整数；R2～R6分别独立地为也可含有杂原子的碳数1～25的1价烃基；又，R2、R3及R4中的任2个也可互相键结并和它们所键结的硫原子一起形成环。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 信越化学工业株式会社 单体、抗蚀剂材料、抗蚀剂组成物、及图案形成方法
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