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申请/专利权人：北京大学
申请日：2024-03-05
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN118299331A
主分类号：H01L21/8234
分类号：H01L21/8234;H01L27/085
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.07.23#实质审查的生效;2024.07.05#公开
摘要：本申请提供一种堆叠叉板晶体管的制备方法、堆叠叉板晶体管及器件，该方法包括：在衬底上形成有源结构；有源结构包括正面有源结构和背面有源结构；基于正面有源结构，形成正面晶体管；倒片并去除衬底；基于背面有源结构，形成背面晶体管；正面晶体管和背面晶体管自对准；其中，堆叠叉板晶体管的介质叉板结构贯穿正面有源结构和背面有源结构，介质叉板结构将正面有源结构分为对称设置的两部分，介质叉板结构将背面有源结构分为对称设置的两部分，介质叉板结构为采用非均匀沉积形成的，介质叉板结构内部具有空气间隙。通过本申请，可以有效降低电容。
主权项：1.一种堆叠叉板晶体管的制备方法，其特征在于，所述方法包括：在衬底上形成有源结构；所述有源结构包括正面有源结构和背面有源结构；基于所述正面有源结构，形成正面晶体管；倒片并去除所述衬底；基于所述背面有源结构，形成背面晶体管；所述正面晶体管和所述背面晶体管自对准；其中，所述堆叠叉板晶体管的介质叉板结构贯穿所述正面有源结构和所述背面有源结构，所述介质叉板结构将所述正面有源结构分为对称设置的两部分，所述介质叉板结构将所述背面有源结构分为对称设置的两部分，所述介质叉板结构为采用非均匀沉积形成的，所述介质叉板结构内部具有空气间隙。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京大学 堆叠叉板晶体管的制备方法、堆叠叉板晶体管及器件
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