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一种逆导型绝缘栅双极晶体管 

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申请/专利权人:浙江旺荣半导体有限公司

摘要:本发明涉及绝缘栅双极晶体管技术领域,具体涉及一种逆导型绝缘栅双极晶体管,包括第一半导体层、第二半导体层、电荷蓄积层、栅极、发射层、发射极、场截止层、集电层、集电极、第一势垒层、第二势垒层、第一阴极层和第二阴极层;第二势垒层与第一势垒层的相邻侧之间留有第二预设间距,以形成电子流动通道;第二阴极层与第一阴极层的相邻侧之间留有第三预设间距,且第三预设间距大于第二预设间距;在电子竖向移动过程中,增加了横渡的过程,延长了电子移动路径,进而增加电阻,产生电压降低,可以轻松调制电导率,进而能够改善电压折回现象。通过抑制因电压折回现象引起的饱和电压升高现象,有效地解决逆导型绝缘栅双极晶体管特性被削弱问题。

主权项:1.一种逆导型绝缘栅双极晶体管,其特征在于,包括:第一半导体层;所述第一半导体层所涂覆的掺杂物为n型掺杂物;第二半导体层,形成于所述第一半导体层的顶面上方;所述第二半导体层所涂覆的掺杂物为p型掺杂物;电荷蓄积层,形成于所述第一半导体层的顶面与所述第二半导体层的底面之间;所述电荷蓄积层所涂覆的掺杂物为n型掺杂物;栅极,包括沿所述第一半导体层的体长方向依次分布的第一沟槽部、第二沟槽部和第三沟槽部;所述第一沟槽部的上部延伸至所述第二半导体层内,下部延伸至所述第一半导体层内;所述第二沟槽部的上部延伸至所述第二半导体层内,下部延伸至所述第一半导体层内;所述第二沟槽部与所述第一沟槽部的相邻侧平行设置,之间留有第一预设间距;所述第三沟槽部的上部延伸至所述第二半导体层内,下部延伸至所述第一半导体层内;所述第三沟槽部与所述第二沟槽部的相邻侧平行设置,之间也留有所述第一预设间距;发射层,形成于所述第二半导体层的顶面的上方;所述发射层所涂覆的掺杂物为n型掺杂物;发射极,形成于所述发射层的顶面的上方,与所述发射层接触;场截止层,形成于所述第一半导体层的底面的下方;所述场截止层所涂覆的掺杂物为n型掺杂物;集电层,形成于所述场截止层的底面的下方;所述集电层所涂覆的掺杂物为p型掺杂物;集电极,形成于所述集电层的底面的下方;第一势垒层,设于所述电荷蓄积层的底面的下方,且位于所述发射层的一端的下方,用于阻碍来自所述发射层的电子流向所述集电极;第二势垒层,设于所述电荷蓄积层的底面的下方,且位于所述发射层的另一端的下方,用于阻碍来自所述发射层的电子流向所述集电极;所述第二势垒层与所述第一势垒层的相邻侧之间留有第二预设间距,以形成电子流动通道;所述第一势垒层和所述第二势垒层所涂覆的掺杂物为p型掺杂物;第一阴极层,形成于所述第一势垒层的底面的下方,且位于所述场截止层的底面与所述集电极的顶面之间,用于收集来自所述发射层的电子;第二阴极层,形成于所述第二势垒层的底面的下方,且位于所述场截止层的底面与所述集电极的顶面之间,用于收集来自所述发射层的电子;所述第一阴极层和所述第二阴极层所涂覆的掺杂物为n型掺杂物;所述第二阴极层与所述第一阴极层的相邻侧之间留有第三预设间距,且所述第三预设间距大于所述第二预设间距;设定所述第二预设间距为W1,所述第三预设间距为S1,d1=S1-W12;所述第一阴极层的宽度小于所述第一势垒层的宽度,所述第一势垒层的宽度与所述第一阴极层的宽度差值为d1;所述第二阴极层的宽度小于所述第二势垒层的宽度,所述第二势垒层的宽度与所述第二阴极层的宽度差值也为d1;由所述发射层注入的电子流向所述第一势垒层和所述第二势垒层,并流经所述第一势垒层和所述第二势垒层之间的所述电子流动通道,在横渡一定的宽度d1后,进而流入所述第一阴极层和所述第二阴极层。

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权利要求:

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