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摄影电影;光学设备的制造及其处理,应用技术
  • 本发明涉及一种激光直写光刻系统图案位置误差的标定及补偿方法,包括以下步骤:图案位置误差标定;网格标定板图案位置误差解耦;图案位置误差分离;图案位置误差补偿。本发明在补偿两轴导轨产生的低频误差的基础上,建立了中低频位置误差估计模型,直接在设计...
  • 本公开提供一种互为冗余备用的多台电机启停的控制方法及系统,涉及电机控制技术领域。该控制方法包括:判断各台电机的状态,状态为停止或运行;累计状态为停止的各台电机的停止时长,累计状态为运行的各台电机的运行时长;以及当接收到启动命令时,查找多台电...
  • 本申请的实施方式提供一种密封圈及镜头模组。镜头模组包括镜筒和至少一个镜片,镜筒内侧具有适于组装镜片的安装面以及适于承靠镜片的抵靠面,密封圈位于镜片与安装面之间,且密封圈与抵靠面至少部分接触;以及密封圈具有多个沿径向设置的第一凸起结构。本申请...
  • 本实用新型公开了一种温控杯垫,其包括:温控杯垫,所述温控杯垫的下表面固定连接有负压吸盘,所述温控杯垫的侧表面设置有槽口,所述槽口的内部活动连接有按板,所述温控杯垫的内部固定连接有加热板,所述温控杯垫的外表面固定连接有下固定环,所述下固定环的...
  • 一种套刻偏差确定方法及装置、存储介质、终端、计算机程序产品,方法包括:确定目标半导体器件每两个相邻的曝光层之间的补偿偏差,所述补偿偏差是至少基于样本半导体器件的对应两个曝光层在刻蚀后量测得到的第一样本套刻偏差确定的,所述目标半导体器件的各曝...
  • 本申请提供实施例属于激光显示技术,提供一种投影设备及激光光源,所述投影设备包括:激光光源,包括激光器、光束匀化装置、波长转换装置、匀光积分器件;光束匀化装置位于激光器和波长转换装置之间,包含光学匀化器件和旋转部件,光学匀化器件与旋转部件连接...
  • 本申请提供一种列车门控冗余系统的控制方法、装置、设备及存储介质,该方法包括:接收继电器发送的第一触点的开闭状态;通过通信功能自检,生成第一主门控器的自检信号;接收第二主门控器的自检信号;将第一触点的开闭状态、第一主门控器的自检信号和第二主门...
  • 本发明提供了一种高精度滑台组件及光刻机工作台,高精度滑台组件包括基座、滑台、滑台驱动部以及调节部;所述滑台用于承载晶圆载台;基座设有直线导轨,滑台安装于直线导轨,滑台驱动部连接于滑台以驱动滑台沿直线导轨运动。调节部的第一端连接于滑台驱动部,...
  • 本实用新型公开一种快门装置,设有固定座、叶片单元、连接件和驱动单元,所述固定座上设有摄像口,所述驱动单元设有能够转动的摇柄,所述连接件能够在固定座中转动,所述连接件分别与所述摇柄和叶片单元连接,使得所述驱动单元通过所述连接件驱动所述叶片单元...
  • 本发明公开了光刻机技术领域的一种直写光刻机吸盘压板装置,包括吸盘、安装槽和支撑梁,所述吸盘的右侧壁前后两侧开有移动槽,所述移动槽的内腔底部固定连接有电动升降杆,所述电动升降杆的顶端固定连接有移动块,所述移动块滑动连接在所述移动槽的内腔,所述...
  • 本实用新型提出一种投影幕布和投影显示装置,其中,所述投影幕布的一侧表面形成有若干缩孔,所述缩孔内形成有凹弧面,用于反射投影光;若干所述缩孔随机分布设置。本申请的技术方案,能够降低投影幕布出现干涉现象的风险。
  • 本发明公开了一种用发力器发出的作用力驱动运行的发动机,属于发动机技术领域。它采用发力器+驱动杆+恒星轮+复合式三级行星轮+固定轮的机械构造实现驱动机器持续运行。技术要点:①利用发力器发出的作用力驱动恒星轮旋转,恒星轮则传动三级行星轮推动行星...
  • 本发明涉及船舶能量管理系统技术领域,特涉及一种用于船舶能量管理系统的双冗余控制装置及切换方法。主定时器输出与备份控制器连接,备份定时器输出与主控制器连接,逻辑控制电路分别与主双向三态门和备份双向三态门连接,主双向三态门分别与主控制器和双口R...
  • 提供了流动池系统及其相关方法。流动池系统可以包括插座,该插座包括基部、多个电触头和包括第一端口的盖部。流动池系统还可以包括固定在插座壳体内的流动池装置。流动池装置可以包括无框架的光检测装置,该光检测装置包括基底晶片部分、多个介电层、反应结构...
  • 本发明提供一种套刻误差量测准确度评估方法,包括:设置套刻标识;完成前层的光刻、刻蚀工艺,将前层套刻标识形成在前层上;第一次完成当层的光刻,量测当层对前层的套刻误差;根据第一次的套刻误差量测结果生成补偿值,在特殊区域生成预设的特殊补偿值;对晶...
  • 本发明属于激光曝光技术领域,具体的说是一种激光直写曝光机光源,包括曝光模块,曝光模块的前端设有曝光窗口,曝光模块的下端设有底座框架,底座框架的内部设有调控装置,且调控装置设在曝光模块的下端;调控装置包括:放置平台,放置平台设在底座框架的表面...
  • 本发明公开了一种Lift‑off工艺用去胶液,按质量百分比计主要组分包括:50%~80%的极性有机溶剂A、15%~40%的金属保护型极性有机溶剂B、3%~15%的磺酸盐阴离子表面活性剂和0.1%~10%的吸附型金属保护剂。该Lift‑Off...
  • 本发明涉及一种可重构限幅器,属于集成电路领域,限幅器包括多级限幅电路和多级滤波电路;在每两级限幅电路之间的主传输线上并联一级滤波电路,且该级滤波电路通过一微带线与前后级限幅电路匹配;在信号输入端和信号输出端各的主传输线上并联有一级滤波电路,...
  • 一种合色照明装置及其方法、微型投影光引擎以及电子设备。该合色照明装置包括一光源组件、一准直组件以及一合色组件。该光源组件包括多种发光元件,并且该多种发光元件具有不同的发光路径,用于按照颜色时序分时地发射具有不同颜色的多路光束。该准直组件被对...
  • 本发明涉及安装结构的技术领域,特别是涉及虚拟成像系统研究的电子设备安装装置,其包括多个分幕和芯球,多个分幕能够组成球体,分幕的正面为投影幕,并且其形状为球面形,每个分幕均由固定幕和活动幕组成,固定幕的中部设有通口,活动幕位于通口内,芯球位于...
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