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申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要：本发明涉及一种激光直写光刻系统图案位置误差的标定及补偿方法，包括以下步骤：图案位置误差标定；网格标定板图案位置误差解耦；图案位置误差分离；图案位置误差补偿。本发明在补偿两轴导轨产生的低频误差的基础上，建立了中低频位置误差估计模型，直接在设计图案中对光刻系统固有的中低频误差进行点对点补偿，实现了对可补偿误差成分的全量高精度补偿。本发明不涉及复杂的设计流程、操作流程，不依赖绝对检测技术，提高了误差补偿精度，降低了加工成本。
主权项：1.一种激光直写光刻系统图案位置误差的标定及补偿方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：图案位置误差标定；使用网格标定板标定激光直写光刻系统的图案位置误差；步骤2：网格标定板图案位置误差解耦；根据标定误差矩阵数据，建立网格标定板图案误差旋转解耦模型，解算网格标定板图案位置误差；步骤3：图案位置误差分离；分别建立基于仿射变换的低频位置误差拟合模型和基于优化多项式的中低频位置误差拟合模型，对激光直写光刻系统产生的步骤2获得的图案位置误差进行完全分离；步骤4：图案位置误差补偿；将步骤3分离得到的各部分图案位置误差分别进行补偿。
全文数据：
权利要求：
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