龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本实用新型公开了一种排气管，所述排气管用于反应腔室，所述排气管包括：出口；多个排气口，所述多个排气口设置在所述排气管的周向侧壁上，使得所述反应腔室内的气体能够从所述多个排气口进入所述排气管并经由所述出口排出所述反应腔室；其中，所述多个排气口中的至少两个排气口相对于所述反应腔室的底部在竖向方向上的高度是不同的，本实用新型还公开了一种气相沉积设备，通过使用该排气管和气相沉积设备使反应气体能够更均匀地分布在反应腔室中，从而改善位于反应腔室内不同位置处的基材上的沉积层厚度的一致性。
主权项：1.一种排气管，所述排气管用于反应腔室，其特征在于，所述排气管包括：出口；多个排气口，所述多个排气口设置在所述排气管的周向侧壁上，使得所述反应腔室内的气体能够从所述多个排气口进入所述排气管并经由所述出口排出所述反应腔室；其中，所述多个排气口中的至少两个排气口相对于所述反应腔室的底部在竖向方向上的高度是不同的。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 重庆欣晖材料技术有限公司 排气管和气相沉积设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号