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摘要：本发明涉及原子层沉积领域，公开了一种原子层沉积设备，包括外腔和设置在外腔内的内腔、与内腔尺寸适配的盖板、用于承载基材架的载台以及用于驱动盖板和载台同步移动的驱动模块，所述外腔的外表面设置有与载台位置对应的料口和用于开关料口的封板，外腔的外表面固定安装有底座，底座上设置有滑板和用于驱动滑板移动的控制组件，滑板上设置有用于调节基材架方向的调节组件。本发明通过滑板、控制组件、调节组件和料口等之间的配合，使得基材架以水平状态进入外腔内并落到载台上呈竖直状态，以此可有效降低料口的整体尺寸，无需开设沿上下方向长度较大的料口，可有效降低外腔内的热量流失，使得内腔可快速达到沉积加工的对应温度。
主权项：1.一种原子层沉积设备，包括外腔和设置在外腔内的内腔、与内腔尺寸适配的盖板、用于承载基材架的载台以及用于驱动盖板和载台同步移动的驱动模块，其特征在于，所述外腔的外表面设置有与载台位置对应的料口和用于开关料口的封板，外腔的外表面固定安装有底座，底座上设置有滑板和用于驱动滑板移动的控制组件，滑板上设置有用于调节基材架方向的调节组件；启动控制组件可带动调节组件和基材架经料口向载台移动，当调节组件移动至与载台对应后，通过控制组件和调节组件可带动基材架转动并落到载台上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏迈纳德微纳技术有限公司 一种原子层沉积设备
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