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推舟设备和原子层沉积设备 

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摘要:本申请涉及一种推舟设备和原子层沉积设备,涉及薄膜沉积技术领域,该推舟设备包括底座、驱动件、托盘、支撑装置以及缓冲装置,驱动件设于底座上;托盘的一端与驱动件连接;支撑装置与底座活动连接,支撑装置用于支撑托盘远离驱动件的一端;缓冲装置与支撑装置连接,缓冲装置位于底座的下方;缓冲装置用于跟随支撑装置移动,并在支撑装置接触托盘前,抵接底座的底部,以减缓支撑装置朝托盘移动的速度。该推舟设备和原子层沉积设备可以减缓支撑装置对托盘的冲击。

主权项:1.一种推舟设备,其特征在于,包括:底座110;驱动件120,设于所述底座110上;托盘130,所述托盘130的一端与所述驱动件120连接;支撑装置140,与所述底座110活动连接,所述支撑装置140用于支撑所述托盘130远离所述驱动件120的一端;缓冲装置150,与所述支撑装置140连接,所述缓冲装置150位于所述底座110的下方;所述缓冲装置150用于跟随所述支撑装置140移动,并在所述支撑装置140接触所述托盘130前,抵接所述底座110的底部,以减缓所述支撑装置140朝所述托盘130移动的速度。

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