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摘要：本申请公开了加热炉和半导体沉积系统。加热炉包括保温管和工艺管。保温管套设于工艺管外周。其中，工艺管与保温管之间间隔形成有导热空间，导热空间内间隔排列设置有加热件。加热炉还包括至少两个出气组和分别与出气组一一对应的至少两个进气管道。每个出气组包括至少一个出气管道，出气管道分别设置于相邻的加热件之间，出气管道具有与导热空间连通的出气孔。同一出气组中的出气管道分别与同一进气管道连通。通过上述方式，本申请加热炉能够通过进气管道和出气组有效地对加热炉的温度进行分区控制。
主权项：1.一种加热炉，其特征在于，包括：保温管；工艺管，所述保温管套设于所述工艺管外周；其中，所述工艺管与所述保温管之间间隔形成有导热空间，所述导热空间内间隔排列设置有多个加热件；所述加热炉还包括至少两个出气组和分别与所述出气组一一对应的至少两个进气管道，每个所述出气组包括至少一个出气管道，所述出气管道分别设置于相邻的所述加热件之间，所述出气管道具有与所述导热空间连通的出气孔；同一所述出气组中的所述出气管道分别与同一所述进气管道连通。
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百度查询： 江苏微导纳米科技股份有限公司 加热炉和半导体沉积系统
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