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摘要：本公开涉及一种用于真空沉积系统的装置，该装置包括：活动主体；至少一个沉积源，该至少一个沉积源安装在该活动主体上；至少一个涂覆窗口，该至少一个涂覆窗口与该至少一个沉积源相关联并且安装在该活动主体上；和至少一个冷却装置，该至少一个冷却装置连接到该至少一个涂覆窗口并且安装在该活动主体上。
主权项：1.用于真空沉积系统的装置，所述装置包括：活动主体，至少一个沉积源10，所述至少一个沉积源安装在所述活动主体上，至少一个涂覆窗口20，所述至少一个涂覆窗口与所述至少一个沉积源10相关联并且安装在所述活动主体上，和至少一个冷却装置30，所述至少一个冷却装置连接到所述至少一个涂覆窗口20并且安装在所述活动主体上。
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百度查询： 布勒阿尔策瑙股份有限公司 用于真空沉积系统的装置以及用于真空沉积的系统
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