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摘要：本公开实施例公开了化学气相沉积设备，所述化学气相沉积设备包括：承载件，用于承载基板；设置在所述承载件上方的测距装置，用于在化学气相沉积过程中实时获取其与所述基板上已形成的沉积层的表面上不同区域中的每个区域之间的距离；设置在所述承载件下方的温度补偿装置，用于对待温度补偿的区域进行温度补偿。
主权项：1.一种化学气相沉积设备，其特征在于，所述化学气相沉积设备包括：承载件，用于承载基板；设置在所述承载件上方的测距装置，用于在化学气相沉积过程中实时获取其与所述基板上已形成的沉积层的表面上不同区域中的每个区域之间的距离；设置在所述承载件下方的温度补偿装置，用于对待温度补偿的区域进行温度补偿；其中，所述待温度补偿的区域为所述不同区域中的所述测距装置与所述不同区域中的每个区域之间的距离不满足设定的距离范围的区域。
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百度查询： 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 化学气相沉积设备
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