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摘要：本发明在显微镜图像测定中，在进行具有超过焦点深度的阶梯差的测定对象物的测定、沿显微镜的光轴方向而不同的位置的图案比较等时，能够进行高精度的测定。显微镜图像测定装置具备：显微镜，对测定对象物的表面照射白色落射光来获得表面的放大像；分光摄像机，获得放大像的分光图像；及图像处理部，按每个波长提取分光图像来进行图像测定处理，显微镜将按每个波长而不同的焦点位置的像成像于分光摄像机的摄像面，图像处理部提取测定部位的对比度最高的波长的分光图像来进行边缘检测。
主权项：1.一种显微镜图像测定装置，其特征在于，具备：显微镜，对测定对象物的表面照射白色落射光来获得所述表面的放大像；分光摄像机，获得所述放大像的分光图像；及图像处理部，按每个波长提取所述分光图像来进行图像测定处理，所述显微镜将按每个波长而不同的焦点位置的像成像于所述分光摄像机的摄像面，所述图像处理部提取测定部位的对比度最高的波长的分光图像来进行边缘检测。
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百度查询： 株式会社V技术 显微镜图像测定装置及显微镜图像测定方法
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