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摘要：本文公开了一种用于对样本执行非破坏性断层扫描的系统。该系统包括扫描电子显微镜SEM和处理器。该SEM被配置为通过分别以多个投射方向和偏移中的每一者将电子束投射到测试样本上，并且针对每个电子束，测量从该测试样本返回的电子的相应强度，来获得由矢量参数化的该测试样本的正弦图。该处理器被配置为通过确定指示由等式定义的矢量的分量的值来获得与该测试样本有关的断层扫描图。W是具有分量wij的矩阵，分量wij指定标称样本中的第j个体素对该标称样本的标称正弦图的第i个元素的值的贡献。该矩阵W考虑了电子束在该标称样本内随深度的扩展和衰减。
主权项：1.一种用于对样本执行非破坏性断层扫描的系统，所述系统包括：扫描电子显微镜SEM，所述SEM被配置为通过分别以多个投射方向和多个偏移中的每一者按顺序将电子束投射到测试样本上，并且针对每个电子束，测量从所述测试样本返回的电子的相应强度，来获得由矢量参数化的所述测试样本的正弦图；以及一个或多个处理器，所述一个或多个处理器被配置为通过确定指示由等式定义的矢量的分量的值来获得与所述测试样本有关的断层扫描图，其中W是具有分量wij的矩阵，所述分量wij分别指定标称样本中的第j个体素对所述标称样本的标称正弦图的第i个元素的值的贡献，其中所述测试样本与所述标称样本具有相同或相似的设计意图，并且其中所述矩阵W考虑了电子束在所述标称样本内随深度的扩展和衰减。
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百度查询： 应用材料以色列公司 样本的基于扫描电子显微镜的断层扫描
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