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摘要：本实用新型公开了一种压阻自感应原子力显微镜三自由扫描器，包括X‑Y移动机构、基板和Z移动机构，X‑Y移动机构设置在基板内，X‑Y移动机构上的X‑Y输出端设置在基板的外部，X‑Y输出端在X‑Y弹性铰链的作用下沿X、Y方向移动，Z移动机构与X‑Y输出端连接，Z移动机构中的Z输出端在Z弹性铰链的作用下沿Z向移动。优点，设置在基板内的X压电陶瓷和Y压电陶瓷，实现设置在基板外部且与X‑Y弹性铰链连接的X‑Y输出端在X、Y方向上的可控移动，又把Z移动机构安装在设置在基板外部的X‑Y输出端上，保证了扫描器整体具备在X、Y、Z三个方向上可控移动的同时也增大了探针安装和拆取的空间，拆装方便的同时也防止探针拆装过程中探针损坏。
主权项：1.一种压阻自感应原子力显微镜三自由扫描器，其特征在于：包括X-Y移动机构（1）、基板（2）和Z移动机构（3），所述X-Y移动机构（1）设置在基板（2）内，X-Y移动机构（1）上的X-Y输出端（108）设置在基板（2）的外部，所述X-Y输出端（108）在X-Y移动机构（1）内X-Y弹性铰链（102）的作用下沿X、Y方向移动，Z移动机构（3）与X-Y输出端（108）连接，所述Z移动机构（3）中的Z输出端（36）在Z向运动平台（31）中Z弹性铰链（32）的作用下沿Z向移动。
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百度查询： 南京埃米仪器科技有限公司 压阻自感应原子力显微镜三自由扫描器
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