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摘要：一种电子显微镜减振结构010，包括壳体100、电子发射部300和抽气件200。壳体100内部形成总腔室101，并设置有抽气通道1311。电子发射部300设置于总腔室101内，电子发射部300的第一端与壳体100之间设置有隔振间隙011，电子发射部300在第一端设置有连通口301，电子发射部300内形成第一腔300a，连通口301用于连通抽气通道1311和第一腔300a。抽气件200设置在壳体100外，与抽气通道连通1311，抽气件200用于将第一腔300a内的气体通过连通口301和抽气通道1311抽到壳体100外部。
主权项：一种电子显微镜减振结构，其特征在于，包括:壳体,内部形成总腔室，并设置有抽气通道；电子发射部，设置于所述总腔室内，所述电子发射部的第一端与所述壳体之间设置有隔振间隙，所述电子发射部在所述第一端设置有连通口，所述电子发射部内形成第一腔，所述连通口用于连通所述抽气通道和所述第一腔；抽气件，设置在所述壳体外，与所述抽气通道连通，所述抽气件用于将所述第一腔内的气体通过所述连通口和所述抽气通道抽到所述壳体外部。
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