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摘要：本发明提供了一种气相外延炉，属于气相外延技术领域，包括气相外延炉装置，所述气相外延炉装置的一侧表面设置有密封机构，所述气相外延炉装置的上方表面固定连接有阀门，所述气相外延炉装置的上方表面设置有检测机构，所述气相外延炉装置的一侧表面安装有加热设备，所述气相外延炉装置的下方表面安装有冷却设备；所述密封机构包括第一密封板、第一密封圈、第二密封圈、第一固定板、第二固定板、第一螺栓、第一连接板、第二密封板、第三密封圈、第四密封圈、第五密封圈、第三固定板。本发明提供的气相外延炉装置通过密封机构可实现气相外延炉装置运作时的密封性和稳定性，防止阀门在使用过程漏气，影响气相外延炉内部温度。
主权项：1.一种气相外延炉，包括气相外延炉装置1，其特征在于，所述气相外延炉装置1的一侧表面设置有密封机构2，所述气相外延炉装置1的上方表面固定连接有阀门3，所述气相外延炉装置1的上方表面固定连接有支撑板4，所述气相外延炉装置1的上方表面设置有检测机构5，所述气相外延炉装置1的一侧表面安装有加热设备6，所述气相外延炉装置1的下方表面安装有冷却设备7；所述密封机构2包括滑动连接安装在所述气相外延炉装置1开口处的第一密封板201，所述第一密封板201的外侧表面滑动连接有第一密封圈202，所述第一密封板201的外侧表面滑动连接有第二密封圈203，所述第一密封板201的一侧表面固定连接有第一固定板204，所述第一固定板204的一侧表面固定连接有第二固定板205，所述第二固定板205的外侧表面固定连接有第一螺栓206，所述第二固定板205的外侧表面固定连接有第一连接板207，所述第一连接板207的外侧表面滑动连接有第二密封板208，所述第二密封板208的外侧表面滑动连接有第三密封圈209，所述第二密封板208的外侧表面滑动连接有第四密封圈210，所述第二密封板208的一侧表面滑动连接有第五密封圈211，所述第二密封板208的一侧表面固定连接有第三固定板212。
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