龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本发明涉及一种检测硅片中金属杂质的方法，所述方法包括以下步骤：将待检测硅片在600‑1200℃下进行热处理，使金属杂质与硅反应生成金属硅化物；将热处理后的硅片降温冷却，使金属硅化物的溶解度降低并以硅环的形式析出；将降温冷却后的硅片进行分层腐蚀处理，观测不同腐蚀深度下腐蚀面是否有亮环状硅环存在，若存在则证明硅片中含有金属杂质。本发明提供的方法通过对硅环的检测判断是否含有金属杂质，从而实现原始晶圆的早期筛选和高金属杂质含量晶圆的预先剔除，并且具有较好的检测精度。
主权项：1.一种检测硅片中金属杂质的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：将待检测硅片在600-1200℃下进行热处理，使金属杂质与硅反应生成金属硅化物；将热处理后的硅片降温冷却，使金属硅化物的溶解度降低并以硅环的形式析出；将降温冷却后的硅片进行分层腐蚀处理，观测不同腐蚀深度下腐蚀面是否有亮环状硅环存在，若存在则证明硅片中含有金属杂质。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海超硅半导体股份有限公司 重庆超硅半导体有限公司 一种检测硅片中金属杂质的方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号