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申请/专利权人：山东粤海金半导体科技有限公司;成都粤海金半导体材料有限公司
摘要：本实用新型公开了一种专用的碳化硅衬底晶片倒角装置，涉及碳化硅等超硬脆性材料加工技术领域，包括底座、砂轮和晶片驱动组件，还包括砂轮驱动组件和检测组件，砂轮驱动组件位于晶片驱动组件的后侧，其包括主砂轮电机、主旋转轴、整体旋转电机、安装座、X轴移动件和Y轴移动件；砂轮安装在主砂轮电机的输出轴上，主砂轮电机通过连接板与主旋转轴相连，二者垂直设置；主旋转轴纵向设置，整体旋转电机安装在安装座上，其输出轴与主旋转轴传动连接；安装座通过X轴移动件和Y轴移动件移动；本装置通过砂轮驱动组件可实现自由设计倒角形状，可完成所需磨角动作；本装置可实现动态在线检测、动态调整，连续修磨倒角至完全达到设计形状的技术要求。
主权项：1.一种专用的碳化硅衬底晶片倒角装置，包括底座、砂轮和晶片驱动组件，晶片驱动组件包括晶片吸盘、吸盘旋转轴和晶片旋转电机，晶片旋转电机与吸盘旋转轴传动连接，且吸盘旋转轴竖向设置；其特征在于：所述晶片驱动组件还包括安装在底座上的晶片上下移动件，所述晶片旋转电机安装在晶片上下移动件的输出端上；还包括砂轮驱动组件和检测组件，所述砂轮驱动组件位于晶片驱动组件的后侧，其包括主砂轮电机、主旋转轴、整体旋转电机、安装座、X轴移动件和Y轴移动件；所述砂轮安装在主砂轮电机的输出轴上，所述主砂轮电机通过连接板与主旋转轴相连，二者垂直设置；所述主旋转轴纵向设置，所述整体旋转电机安装在安装座上，其输出轴与主旋转轴传动连接；所述安装座安装在X轴移动件的输出端上，所述X轴移动件安装在Y轴移动件的输出端上，所述Y轴移动件安装在底座上；所述检测组件位于晶片驱动组件的上方，其包括支架、Z向移动件、第一安装板、Z向检测相机和X向检测相机；所述支架竖向安装在底座上，所述Z向移动件安装在支架上，所述第一安装板安装在Z向移动件的输出端上，所述Z向检测相机和X向检测相机均安装在第一安装板上。
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