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申请/专利权人:新疆中部合盛硅业有限公司
摘要:本申请公开了一种含水氯化氢的四氯化硅干燥系统,包括干燥塔,干燥塔设置有含水氯化氢进料口和四氯化硅进料口,还包括四氯化硅预冷器,四氯化硅经过四氯化硅预冷器后进入干燥塔,干燥塔还设置有含水四氯化硅出料口,干燥塔流出的含水四氯化硅经过四氯化硅冷却器后去冷氢化渣浆。本申请的含水氯化氢的四氯化硅干燥系统,解决液相硅烷冷量回收、气相氯化氢冷量回收的问题,并使用鼓泡进料水和硅烷充分接触,使得塔板堵塞周期长,延长系统运行时间。
主权项:1.一种含水氯化氢的四氯化硅干燥系统,包括干燥塔,所述干燥塔设置有含水氯化氢进料口和四氯化硅进料口,其特征在于,还包括四氯化硅预冷器,四氯化硅经过所述四氯化硅预冷器后进入所述干燥塔,所述干燥塔还设置有含水四氯化硅出料口,所述干燥塔流出的所述含水四氯化硅经过所述四氯化硅冷却器后去冷氢化渣浆。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 新疆中部合盛硅业有限公司 一种含水氯化氢的四氯化硅干燥系统
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