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申请/专利权人：内蒙古大全半导体有限公司
摘要：本实用新型公开了一种硅芯清洗装置，涉及硅芯清洗设备技术领域，主要目的是提供一种能够降低局部构件受力不均匀导致频繁更换局部构件的一种硅芯清洗装置。本实用新型的主要技术方案为：一种硅芯清洗装置，包括：壳体部件；传动部件，气缸部件的一端固定在地面，另一端转动连接于第一齿轮，第一连接轴的一端连接于第一齿轮，另一端穿过滑动孔并连接于第二齿轮，驱动齿轮设置在壳体部件的底部，用于连接于驱动设备，第一连接齿轮分别与第一齿轮和驱动齿轮啮合；导辊部件，导辊部件设置在壳体部件的底部；安装部件，安装部件放置在导辊部件的上部，安装部件的两端具有齿轮盘，齿轮盘能够与第二齿轮啮合。本实用新型主要用于清洗硅芯。
主权项：1.一种硅芯清洗装置，其特征在于，包括：壳体部件，所述壳体部件具有滑动孔、进液孔和排液孔；传动部件，所述传动部件包括支撑部件和转动部件，所述支撑部件包括气缸部件、第一连接轴、第一齿轮和第二齿轮，所述气缸部件的一端固定在地面，另一端转动连接于第一齿轮，所述第一连接轴的一端连接于所述第一齿轮，另一端穿过所述滑动孔并连接于所述第二齿轮，所述转动部件包括驱动齿轮和第一连接齿轮，所述驱动齿轮设置在所述壳体部件的底部，用于连接于驱动设备，所述第一连接齿轮分别与所述第一齿轮和所述驱动齿轮啮合；导辊部件，所述导辊部件设置在所述壳体部件的底部；安装部件，所述安装部件放置在所述导辊部件的上部，所述安装部件的两端具有齿轮盘，所述齿轮盘能够与所述第二齿轮啮合。
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百度查询： 内蒙古大全半导体有限公司 一种硅芯清洗装置
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