龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：天津大学
摘要：本发明公开一种硅基集成悬置线电路，由多层硅晶圆层叠形成自封装结构，包括至少三层硅晶圆，至少对两层硅晶圆进行蚀刻，以在所述硅基集成悬置线主电路信号线的上方和或下方形成空腔。本发明通过硅基加工技术，实现更高精度的集成悬置线加工与装配，在更高频段、电路小型化、更高集成度等应用场景中具有很大潜力；可以更好地与芯片等实现高性能、低损耗、高效率的互连，继承了集成悬置线平台低损耗、自封装、高性能等优势，同时，硅基材料及工艺进一步降低了损耗，为系统集成提供了良好的散热特性；实现硅基集成悬置线电路可靠的过渡与测试方案。
主权项：1.硅基集成悬置线电路，其特征在于，由多层硅晶圆层叠形成自封装结构，包括至少三层硅晶圆，至少对两层硅晶圆进行蚀刻，以在所述硅基集成悬置线主电路信号线的上方和或下方形成空腔。
全文数据：
权利要求：
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号