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申请/专利权人：先导薄膜材料(安徽)有限公司
摘要：本发明涉及表面清洗技术，公开了一种靶材的清洗方法。通过压缩空气的方式将干冰颗粒以喷砂的形式喷射在靶材表面进行清洗；其中：所述干冰颗粒的粒径为0.3~1.5mm，压缩空气气压为0.15~0.55MPa。工艺简单，操作简便，能提高靶材表面清洁度，有效改善靶材的产品质量。不会对靶材表面粗糙度造成较大的影响，可极大提升靶材客户端的市场竞争力。
主权项：1.一种靶材的清洗方法，其特征在于，通过压缩空气的方式将干冰颗粒以喷砂的形式喷射在靶材表面进行清洗；其中：所述干冰颗粒的粒径为0.3~1.5mm，压缩空气气压为0.15~0.55MPa。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(安徽)有限公司 一种靶材的清洗方法
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