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申请/专利权人:成都兴南真科科技有限责任公司
摘要:本申请提供一种真空镀膜靶材遮挡装置,包括:靶材挡板,其一端铰接于一个倒U型架内,其顶部设有连接座,连接座内具有横向设置的连接轴;卷线机构,包括电机、卷线轴,电机固定于一个竖板,竖板设于倒U型架远离靶材挡板的一侧,电机的输出轴轴向与竖板宽度方向相同,且电机的输出轴与卷线轴连接,卷线轴与一根拉绳的一端连接,拉绳的另一端与连接轴连接。该装置能够控制靶材挡板上下转动,不需要在水平方向上预留靶材挡板的转动空间,避免真空镀膜机内空间浪费。
主权项:1.一种真空镀膜靶材遮挡装置,其特征在于,包括:靶材挡板(1),其一端铰接于一个倒U型架(2)内,靶材挡板(1)顶部设有连接座(101),连接座(101)内具有横向设置的连接轴(102);卷线机构,包括电机(3)、卷线轴(4),电机(3)固定于一个竖板(5)上,竖板(5)设于倒U型架(2)远离靶材挡板(1)的一侧,电机(3)的输出轴轴向与竖板(5)宽度方向平行,且电机(3)的输出轴与卷线轴(4)连接,卷线轴(4)与一根拉绳(401)的一端连接,拉绳(401)的另一端与连接轴(102)连接。
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