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申请/专利权人：成都兴南真科科技有限责任公司
摘要：本申请提供一种真空镀膜靶材遮挡装置，包括：靶材挡板，其一端铰接于一个倒U型架内，其顶部设有连接座，连接座内具有横向设置的连接轴；卷线机构，包括电机、卷线轴，电机固定于一个竖板，竖板设于倒U型架远离靶材挡板的一侧，电机的输出轴轴向与竖板宽度方向相同，且电机的输出轴与卷线轴连接，卷线轴与一根拉绳的一端连接，拉绳的另一端与连接轴连接。该装置能够控制靶材挡板上下转动，不需要在水平方向上预留靶材挡板的转动空间，避免真空镀膜机内空间浪费。
主权项：1.一种真空镀膜靶材遮挡装置，其特征在于，包括：靶材挡板（1），其一端铰接于一个倒U型架（2）内，靶材挡板（1）顶部设有连接座（101），连接座（101）内具有横向设置的连接轴（102）；卷线机构，包括电机（3）、卷线轴（4），电机（3）固定于一个竖板（5）上，竖板（5）设于倒U型架（2）远离靶材挡板（1）的一侧，电机（3）的输出轴轴向与竖板（5）宽度方向平行，且电机（3）的输出轴与卷线轴（4）连接，卷线轴（4）与一根拉绳（401）的一端连接，拉绳（401）的另一端与连接轴（102）连接。
全文数据：
权利要求：
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