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申请/专利权人：合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
摘要：本申请提供一种薄膜晶体管及其制作方法与显示面板，该薄膜晶体管包括设于绝缘衬底上方的有源层、栅极绝缘层、栅极、第一极和第二极，有源层包括源极区、漏极区和位于两者之间的沟道区，栅极绝缘层覆盖至少部分有源层，栅极与沟道区沿厚度方向相对设置，第一极与源极区电连接，第二极与漏极区电连接；沟道区包括第一厚度区和第二厚度区，第一厚度区的厚度大于第二厚度区的厚度，第二厚度区至少设有一个，且至少一个第二厚度区靠近漏极区设置。本申请通过将沟道区设置为具有厚度差异的第一厚度区和第二厚度区，且第二厚度区的厚度更小且靠近漏极区设置，使得漏极区不会因热载流子碰撞而产生损坏，从而改善薄膜晶体管驱动带来的电流下降问题。
主权项：1.一种薄膜晶体管，其特征在于，包括设于绝缘衬底上方的有源层、栅极绝缘层、栅极、第一极和第二极，所述有源层包括源极区、沟道区和漏极区，所述沟道区位于所述源极区和所述漏极区之间，所述栅极绝缘层覆盖至少部分所述有源层，所述栅极与所述沟道区沿厚度方向相对设置，所述第一极与所述源极区电连接，所述第二极与所述漏极区电连接；所述沟道区包括第一厚度区和第二厚度区，所述第一厚度区的厚度大于所述第二厚度区的厚度，所述第二厚度区至少设有一个，且至少一个所述第二厚度区靠近所述漏极区设置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥鑫晟光电科技有限公司 京东方科技集团股份有限公司 薄膜晶体管及其制作方法与显示面板
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