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申请/专利权人：南通泰德电子材料科技有限公司
摘要：本发明涉及高纯铝靶材检测技术领域，公开了一种高纯铝靶材缺陷检测装置，包括高纯铝靶材放置平台、顶板和缺陷检测机构，高纯铝靶材放置平台的顶部两端设有支撑板；顶板位于高纯铝靶材放置平台的上方，顶板的顶部中间处安装有液压装置，液压装置的底部贯穿连接有液压柱，液压柱的底部固定设有压板；缺陷检测机构的内侧下端焊接分布有横支板，横支板焊接于高纯铝靶材放置平台的两侧，缺陷检测机构的内部两端连接有伸缩调节机构，伸缩调节机构的内侧端连接有定位夹持机构。该高纯铝靶材缺陷检测装置，便于将高纯铝靶材调节后稳定夹持定位，适用于平面铝靶材和旋转铝靶材等多种形态，方便检测高纯铝靶材的抗拉强度、抗压强度和抗弯曲性能。
主权项：1.一种高纯铝靶材缺陷检测装置，包括高纯铝靶材放置平台（1）、顶板（2）和缺陷检测机构（3），其特征在于：所述高纯铝靶材放置平台（1）的底部拐角处均固定设有支撑腿（12），所述高纯铝靶材放置平台（1）的顶部两端设有支撑板（11）；所述顶板（2）位于高纯铝靶材放置平台（1）的上方，所述顶板（2）与高纯铝靶材放置平台（1）的前后两端固定设有支架（21），所述顶板（2）的顶部中间处安装有液压装置（22），所述液压装置（22）的底部贯穿连接有液压柱（221），所述液压柱（221）的底部固定设有压板（222）；所述缺陷检测机构（3）的内侧下端焊接分布有横支板（30），所述横支板（30）焊接于高纯铝靶材放置平台（1）的两侧，所述缺陷检测机构（3）的内部两端连接有伸缩调节机构，所述伸缩调节机构的内侧端连接有定位夹持机构（31）。
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