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申请/专利权人：江苏海泰光电材料科技股份有限公司
摘要：本发明公开了一种高纯铝平面靶材磨削加工装置，属于靶材加工技术领域，其包括：底座，所述底座的顶部设置有控制器和用于固定靶材的固定夹具；磨削机构，用于实现靶材的磨削加工，所述磨削机构包括升降框、平移板、安装架、侧板和磨削轮；冷却机构，用于对靶材和砂轮进行冷却，所述冷却机构包括压缩箱、喷淋筒、连接轴和旋转电机。本发明通过设置的磨削机构、冷却机构与红外测温仪的配合，可在磨削过程中实现对磨削区域的温度监测，并根据监测结果自动调整磨削进给速度和冷却强度，以避免过热导致靶材变形或磨具损坏，并通过设置的压力传感器监测磨具受到的阻力，根据阻力调整进给速度，并及时体现更换磨具。
主权项：1.一种高纯铝平面靶材磨削加工装置，其特征在于，包括：底座（1），所述底座（1）的顶部设置有控制器（14）和用于固定靶材的固定夹具；磨削机构，用于实现靶材的磨削加工，所述磨削机构包括升降框（4）、平移板（5）、安装架（601）、侧板（606）和磨削轮（6），所述磨削轮（6）转动安装在所述安装架（601）内，所述平移板（5）滑动连接在所述升降框（4）内，且所述升降框（4）内转动安装有两个丝杆（501），所述平移板（5）螺纹套接在两个丝杆（501）的外侧，且所述丝杆（501）上固定安装有从动齿轮（502），所述升降框（4）的一侧内壁上固定安装有驱动电机（504），所述驱动电机（504）的输出轴上固定连接有主动齿轮（503），两个所述从动齿轮（502）均与所述主动齿轮（503）相啮合，所述侧板（606）的一侧固定安装有安装杆，所述安装杆的底端固定连接有用于监测磨削区域温度的红外测温仪（13）；冷却机构，用于对靶材和砂轮进行冷却，所述冷却机构包括压缩箱（7）、喷淋筒（8）、连接轴（9）和旋转电机（903），所述驱动电机（504）和红外测温仪（13）与控制器（14）电性连接，所述红外测温仪（13）监测磨削区域温度超过阈值时通过控制器（14）控制旋转电机（903）的输出转速提升，所述连接轴（9）转动连接在所述压缩箱（7）的顶部，所述喷淋筒（8）的外侧连通有多个喷嘴（801）。
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权利要求：
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