首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 国际服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

晶圆键合设备以及使用其的晶圆键合系统 

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

申请/专利权人:三星电子株式会社

摘要:提供了晶圆键合设备以及使用其的晶圆键合系统,所述晶圆键合设备包括:第一键合卡盘,将第一晶圆固定在第一键合卡盘的第一表面上;第二键合卡盘,将第二晶圆固定在第二键合卡盘的面对第一表面的第二表面上;键合起始构件,位于第一键合卡盘的中心处以将第一晶圆推向第二表面;以及膜构件,包括从第二表面的中心部分朝向第一表面突出的突起以及在围绕中心部分的外部区域上限定突起的平面部分。

主权项:1.一种晶圆键合设备,所述晶圆键合设备包括:第一键合卡盘,将布置在第一键合卡盘的第一表面上的第一晶圆固定;第二键合卡盘,将第二晶圆固定在第二键合卡盘的面对第一表面的第二表面上;键合起始构件,位于第一键合卡盘的中心处,以将第一晶圆推向第二表面;以及膜构件,具有从第二表面的中心部分朝向第一表面突出的突起以及在围绕第二表面的中心部分的外部区域中限定突起的平面部分,其中,第二晶圆被布置且固定到膜构件上,并且沿膜构件的形状共形地被布置,其中,膜构件的突起的宽度被均匀地调整。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 三星电子株式会社 晶圆键合设备以及使用其的晶圆键合系统

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。