申请/专利权人:安徽格恩半导体有限公司
申请日:2023-11-27
公开(公告)日:2024-07-05
公开(公告)号:CN221282581U
主分类号:H01S5/028
分类号:H01S5/028
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.07.05#授权
摘要:本实用新型公开了一种小功率GaN激光二极管,包括外延层、欧姆接触层、绝缘层、P电极和N电极,N电极设置在外延层的下方,欧姆接触层和P电极依次设置在外延层的上方,外延层的上方设置脊结构,绝缘层位于P电极和外延层之间,且绝缘层覆盖于脊结构的侧壁;欧姆接触层为ITO薄膜层,绝缘层为SiO2绝缘层。本实用新型通过在光刻胶和绝缘层之间设置Ag薄膜为界面层,利用Ag氧化变色的特性,层间区别明显,实现精准控制,避免过蚀刻或者蚀刻不干净现象的产生,以实现高精细度的开孔,形成电极连接,有利于降低生产难度,提高生产效率和良品率。
主权项:1.一种小功率GaN激光二极管,包括外延层1、欧姆接触层2、绝缘层3、P电极7和N电极8,其特征在于,N电极8设置在外延层1的下方,欧姆接触层2和P电极7依次设置在外延层1的上方,外延层1的上方设置脊结构,绝缘层3位于P电极7和外延层1之间,且绝缘层3覆盖于脊结构的侧壁;欧姆接触层2为ITO薄膜层,绝缘层3为SiO2绝缘层。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 安徽格恩半导体有限公司 一种小功率GaN激光二极管
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